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Semiconductor-metal transition in thin VO2 films grown by ozone based atomic layer deposition

机译：臭氧基原子层沉积生长的VO2薄膜中的半导体-金属过渡

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Rampelberg, Geert; Schaekers, Marc; Martens, Koen; Xie, Qingge; Deduytsche, Davy; De Schutter, Bob; Blasco, Nicolas; Kittl, Jorge; Detavernier, Christophe;
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年度 2011
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